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Modeling and prediction of the dynamic behaviour of microbeams under electrostatic load
E. BRUSA
•
DE BONA F
•
A. GUGLIOTTA
•
A. SOM
2004
journal article
Periodico
ANALOG INTEGRATED CIRCUITS AND SIGNAL PROCESSING
WOS
WOS:000222210800005
SCOPUS
2-s2.0-3142683157
Archivio
http://hdl.handle.net/11390/856534
Diritti
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