Questo articolo descrive i principali fenomeni fisici in grado di degradare o danneggiare in modo permanente i circuiti integrati, limitandone l'affidabilità. In particolare verranno trattati quei problemi delle tecnologie MOS e BiCMOS che per il loro carattere fondamentale rimarranno di attualità anche nelle future versioni di queste tecnologie. Non verranno trattati, invece, i fenomeni responsabili di errori transitori (soft-errors), quali l'interazione tra dispositivi e radiazione ionizzante nella circuiteria e nelle celle delle memorie RAM dinamiche.
