Metallorganic chemical vapor deposition of Ta2O5 thin films

PORPORATI A.

•

ROITTI, SERGIO

•

SBAIZERO, ORFEO

2003

journal article

Periodico

JOURNAL OF THE EUROPEAN CERAMIC SOCIETY

DOI

10.1016/S0955-2219(02)00184-X

Archivio

http://hdl.handle.net/11368/1700368

info:eu-repo/semantics/altIdentifier/scopus/2-s2.0-0037292199

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Mar 27, 2024

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Apr 19, 2024